[发明专利]经涂覆之石墨物件及石墨物件之反应性离子蚀刻制造及整修有效
| 申请号： | 201180017162.0 | 申请日： | 2011-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN102918605A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 理查德·A·库克;尼雷须·困达;史蒂芬·唐涅尔;刘研 | 申请（专利权）人： | 恩特格林斯公司 |
| 主分类号： | H01B5/14 | 分类号： | H01B5/14;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 黄灿;程美琼 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 根据本发明之一具体实例，提供一种经涂覆之石墨物件。该物件包含：石墨，及一覆盖该石墨之至少一部分之导电涂层。该导电涂层包含一贯穿该石墨及该导电涂层之厚度所量测得的小于约50欧姆之全厚度电阻。根据本发明之另一具体实例，提供一种用于制造一包含一导电涂层之石墨物件的方法。该方法包含：使用一反应性离子蚀刻制程处理该物件之石墨；及在使用该反应性离子蚀刻制程处理该石墨之后，将该导电涂层涂布于该石墨之至少一部分上。在根据本发明之又一具体实例中，提供一种用于整修一包含石墨及一上覆导电涂层之石墨物件的方法。该方法包含：使用一反应性离子蚀刻制程移除该石墨物件之该上覆导电涂层；及将一新导电涂层涂布于该石墨之至少一部分上。 | ||
| 搜索关键词： | 经涂覆 石墨 物件 反应 离子 蚀刻 制造 整修 | ||
【主权项】：
一种经涂覆之石墨物件，该物件包含：石墨；及覆盖该石墨之至少一部分之导电涂层，该导电涂层包含贯穿该石墨及该导电涂层之厚度所量测得的小于约50欧姆之全厚度电阻。
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