[发明专利]对具有微复制透镜阵列的幅材的精确控制

摘要

本发明提供了一种感测系统，该感测系统提供高分辨率反馈以便进行幅材引导和张力控制。该系统尤其可用于被制造成具有微米尺寸级的微复制结构的幅材。微复制工位在幅材上形成微复制透镜的图案。感测系统照射幅材上的测量区并且检测从第一测量区内的微复制透镜集合射出的光的角分布。控制系统基于检测到的角分布调节传送系统的至少一个过程控制参数。

主权项

一种制造幅材的方法，所述方法包括：用传送系统传递幅材通过制造工序的第一微复制工位；用所述第一微复制工位在所述幅材上形成微复制透镜的图案；以及在形成所述微复制透镜的图案之后，检测来自所述幅材的所述微复制透镜的光的角分布，并且基于对来自所述微复制透镜的光的所述角分布的分析，测定所述幅材的对齐误差；基于所测定的对齐度，将转换加工设备相对于所述幅材在幅材横向上自动地定位，以将所述转换加工设备定位在所述幅材的其中所述幅材的所述微复制特征的对齐度在规定的公差范围内的那些区域；以及用所述转换加工设备，使用所述幅材的其中所述幅材的所述微复制特征的对齐度在规定的公差范围内的那些区域，将所述幅材转换成产品。