[实用新型]一种罗茨真空泵有效
| 申请号： | 201120446747.1 | 申请日： | 2011-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN202391738U | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 雷震霖;王光玉;刘在行 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 |
| 主分类号： | F04C25/02 | 分类号： | F04C25/02;F04C18/14;F04C27/00 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 白振宇 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空泵技术领域，具体的说是一种罗茨真空泵。包括电机、前后轴承腔体、罗茨腔体及齿轮腔体，其中前后轴承腔体位于罗茨腔体的两侧，所述齿轮腔体与后轴承腔体连接；所述罗茨腔体上设有进排气孔、并且其内设有主动转子轴和从动转子轴，该主动转子轴和从动转子轴上分别设有相对应的罗茨主动转子和罗茨从动转子；主动转子轴一端与电机连接，另一端设有主动齿轮，从动转子一端设有从动齿轮与主动齿轮传动连接，并置于齿轮箱内；所述前轴承腔体及后轴承腔体内，均设有套固在主动转子轴和从动转子轴两端的轴承及轴承支撑环。本实用新型具有体积小，抽速大，节约能源和空间，适用于IC装备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空泵 | ||
【主权项】：
一种罗茨真空泵，其特征在于：包括电机(27)、前后轴承腔体(701、702)、罗茨腔体(9)及齿轮腔体(14)，其中前后轴承腔体(701、702)位于罗茨腔体(9)的两侧，齿轮腔体(14)与后轴承腔体(702)连接；所述罗茨腔体(9)上设有进排气孔、并且其内设有主动转子轴(11)和从动转子轴(10)，该主动转子轴(11)和从动转子轴(10)上分别设有相对应的罗茨主动转子(28)和罗茨从动转子(29)；所述主动转子轴(11)一端穿出罗茨腔体(9)和前轴承腔体(701)与电机(27)连接，另一端穿出罗茨腔体(9)和后轴承腔体(702)置于齿轮腔体(14)内、并设有主动齿轮(18)；所述从动转子轴(10)一端穿出罗茨腔体(9)和前轴承腔体(701)、并通过轴端固定螺母(1)固定，另一端穿出罗茨腔体(9)和后轴承腔体(702)置于齿轮腔体(14)中、并设有与主动齿轮(18)传动连接的从动齿轮(17)；所述前轴承腔体(701)及后轴承腔体(702)内，均设有套固在主动转子轴(11)和从动转子轴(10)两端的轴承(4)及轴承支撑环(5)。
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