[实用新型]一种平面光波导分路器晶圆片有效
| 申请号： | 201120392502.5 | 申请日： | 2011-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN202339421U | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 宋齐望;孙麦可 | 申请（专利权）人： | 宋齐望;孙麦可 |
| 主分类号： | G02B6/125 | 分类号： | G02B6/125 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 刘洪京 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种平面光波导分路器晶圆片，采用梯形芯片形状的平面光波导分路器芯片，并在晶圆片上依次两两倒置排列。本实用新型一种平面光波导分路器晶圆片，改善了由于结构造成的工艺不均匀性，使得应力大为降低，器件质量得到了提高；在相同尺寸的晶圆片上，排列更多的芯片单元，且通道数越多，晶圆利用率越高，提高了单个晶圆片的芯片产值，降低了生产成本；另外，采用二氧化硅作为衬底，省去了传统半导体工艺先在硅衬底上生长二氧化硅下包层的步骤，缩短了产品的生长周期，降低了产品成本，而且衬底和下包层为同种材料，消除了衬底对器件的应力影响，降低了器件的偏振相关损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 波导 分路 器晶圆片 | ||
【主权项】：
一种平面光波导分路器晶圆片，其特征在于：采用梯形芯片形状的平面光波导分路器芯片，并在晶圆片上依次两两倒置排列。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宋齐望;孙麦可，未经宋齐望;孙麦可许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201120392502.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：半自动浇水装置
- 下一篇：潜孔冲击高压旋喷注浆设备
