[实用新型]一种采用二段分离方式的废砂浆在线回收设备

摘要

一种采用二段分离方式的废砂浆在线回收设备，包括一号分离机，二号分离机，新砂浆罐，调试砂浆罐，一次分离液罐，废砂浆罐，再生砂浆罐，分离废弃物罐，二次分离液罐；其中：一号分离机同时与调试砂浆罐、一次分离液罐和废砂浆罐连通，二号分离机同时与一次分离液罐、分离废弃物罐和二次分离液罐连通，调试砂浆罐和二次分离液罐连通，调试砂浆罐和再生砂浆罐连通，用户切片机分别与废砂浆罐和再生砂浆罐连通。本实用新型的优点：用于分离和回收硅片切割工艺中所产生的废砂浆，同时亦适用于半导体芯片、水晶、钻石等行业的废液回收利用。硅片切割废液中，PEG、SiC的回收率可达80%以上，有效地避免了浪费，降低了企业的生产成本。

主权项

一种采用二段分离方式的废砂浆在线回收设备，其特征在于：所述的采用二段分离方式的废砂浆在线回收设备包括一号分离机（1），二号分离机（2），新砂浆罐（3），调试砂浆罐（4），一次分离液罐（5），废砂浆罐（6），再生砂浆罐（7），分离废弃物罐（8），二次分离液罐（9）；其中：一号分离机（1）同时与调试砂浆罐（4）、一次分离液罐（5）和废砂浆罐（6）连通，二号分离机（2）同时与一次分离液罐（5）、分离废弃物罐（8）和二次分离液罐（9）连通，调试砂浆罐（4）和二次分离液罐（9）连通，调试砂浆罐（4）和再生砂浆罐（7）连通，用户切片机（10）分别与废砂浆罐（6）和再生砂浆罐（7）连通。