[实用新型]多晶热场用顶部保温板有效
申请号: | 201120256479.7 | 申请日: | 2011-07-20 |
公开(公告)号: | CN202164383U | 公开(公告)日: | 2012-03-14 |
发明(设计)人: | 曹钺;尹朝辉 | 申请(专利权)人: | 上海晶驰炭素有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 马家骏 |
地址: | 200000 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 多晶热场用顶部保温板,包括石墨固化毡板体,在所述石墨固化毡板体的下表面设置有碳碳复合材料层。本实用新型通过在石墨固化毡板体的下表面设置有碳碳复合材料层的方式,可以有效的避免由于掉粉导致的硅锭的碳含量不方便控制、以及石墨固化毡板体会产生变形的问题。 | ||
搜索关键词: | 多晶 热场用 顶部 保温 | ||
【主权项】:
多晶热场用顶部保温板,包括石墨固化毡板体,其特征在于,在所述石墨固化毡板体的下表面设置有碳碳复合材料层。
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