[发明专利]升降抖动装置有效
| 申请号： | 201110459871.6 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN102553854A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 王振荣;刘红兵;黄利松 | 申请（专利权）人： | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B13/00;H01L21/306;H05K3/26 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201616 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种升降抖动装置，其特征在于，包括：挂篮支架；抖动驱动装置，抖动驱动装置与挂篮支架连接；抖动驱动装置驱动挂篮支架上下往复运动；提升驱动装置，提升驱动装置驱动挂篮支架上升或下降。本发明中的升降抖动装置，既可以使支架上下抖动，蚀刻时，使产品抖动可及时去除蚀刻产生的粉末，提高蚀刻质量；清洗时抖动，可提高清洗效果，且清洗完成后抖动能够快速去除产品表面的水滴。本发明中的升降抖动装置还可以自动实现使产品上升或下降，自动将产品放入蚀刻液或清洗水中，处理完成后自动将产品提升出液面。提升与抖动功能可相互配合，使用方便。 | ||
| 搜索关键词： | 升降 抖动 装置 | ||
【主权项】：
升降抖动装置，其特征在于，包括：挂篮支架；抖动驱动装置，抖动驱动装置与挂篮支架传动连接；抖动驱动装置驱动挂篮支架上下往复运动；提升驱动装置，提升驱动装置与挂篮支架传动连接，提升驱动装置驱动挂篮支架上升或下降。
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