[发明专利]一种钛酸锶铅薄膜的溶胶凝胶制备方法有效
| 申请号： | 201110395516.7 | 申请日： | 2011-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN102514260A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 孙小华;李修能;周生刚;侯爽;罗志猛 | 申请（专利权）人： | 三峡大学 |
| 主分类号： | B32B9/00 | 分类号： | B32B9/00;C04B35/47;C04B35/622 |
| 代理公司： | 宜昌市三峡专利事务所 42103 | 代理人： | 成钢 |
| 地址： | 443002*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种高调谐性钛酸锶铅薄膜的溶胶凝胶制备方法，以钛酸四丁酯，三水醋酸铅，醋酸锶为原料，乙二醇甲醚和醋酸为溶剂，制备出钛酸锶铅溶胶先驱体。采用旋涂法在基片上制备薄膜并退火处理,重复数次获得的钛酸锶铅铁电薄膜。本发明制备的钛酸锶铅薄膜致密、粒度均匀、质量较好、没有不明第二相，并且得到的钛酸锶铅薄膜具有较高的可调性，整套工艺简单，周期相对较短，节约了时间和成本，为制备高性能的钛酸锶铅薄膜提供了新方法，具有良好的市场应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钛酸锶铅 薄膜 溶胶 凝胶 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种高调谐性钛酸锶铅（Pb0.3Sr0.7TiO3）薄膜的溶胶凝胶制备方法，其特征在于：配制钛酸锶铅前驱体溶胶，在Pt/Ti/SiO2/Si基片上用旋涂法沉积制备钛酸锶铅薄膜。
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