[发明专利]基于微扫描的像质检测用哈特曼波前传感器无效

专利信息
申请号: 201110370458.2 申请日: 2011-11-21
公开(公告)号: CN102507019A 公开(公告)日: 2012-06-20
发明(设计)人: 付跃刚;刘妍;刘智颖;王加科;张磊;高天元 申请(专利权)人: 长春理工大学
主分类号: G01J9/00 分类号: G01J9/00;G02B26/06;G02B3/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 130022 *** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明属于光学检测领域,涉及一种哈特曼传感器。该装置由光路缩束系统、微扫描装置、微透镜阵列、CCD探测器、数字图像处理器以及波前处理机组成。将微扫描装置放置于平行光管与微透镜阵列之间,经过微扫描,由CCD采集到被测波前4帧图像,经过数字图像处理器重建成单帧图像,再由波前处理机进行质心计算及波前重构。本发明可提高哈特曼传感器的像质检测精度,扩大哈特曼传感器的使用范围。
搜索关键词: 基于 扫描 质检 测用哈特曼波前 传感器
【主权项】:
基于微扫描的像质检测用哈特曼波前传感器,包括光路缩束系统,微扫描装置以及相应的数字图像处理器,微透镜阵列,CCD探测器以及波前处理机;其特征在于在缩束系统之后微透镜阵列之前放置微扫描装置。
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