[发明专利]基于微扫描的像质检测用哈特曼波前传感器无效
申请号: | 201110370458.2 | 申请日: | 2011-11-21 |
公开(公告)号: | CN102507019A | 公开(公告)日: | 2012-06-20 |
发明(设计)人: | 付跃刚;刘妍;刘智颖;王加科;张磊;高天元 | 申请(专利权)人: | 长春理工大学 |
主分类号: | G01J9/00 | 分类号: | G01J9/00;G02B26/06;G02B3/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 130022 *** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明属于光学检测领域,涉及一种哈特曼传感器。该装置由光路缩束系统、微扫描装置、微透镜阵列、CCD探测器、数字图像处理器以及波前处理机组成。将微扫描装置放置于平行光管与微透镜阵列之间,经过微扫描,由CCD采集到被测波前4帧图像,经过数字图像处理器重建成单帧图像,再由波前处理机进行质心计算及波前重构。本发明可提高哈特曼传感器的像质检测精度,扩大哈特曼传感器的使用范围。 | ||
搜索关键词: | 基于 扫描 质检 测用哈特曼波前 传感器 | ||
【主权项】:
基于微扫描的像质检测用哈特曼波前传感器,包括光路缩束系统,微扫描装置以及相应的数字图像处理器,微透镜阵列,CCD探测器以及波前处理机;其特征在于在缩束系统之后微透镜阵列之前放置微扫描装置。
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