[发明专利]检验设备

摘要

本发明公开一种检验设备，包括工作架部、光学组件和光学组件移动部。工作架部接纳板以使板移动。工作架部包括并排布置的多个工作架。光学组件包括：投射部，其布置在板的上方；图像采集部，其布置在投射部的侧部处，以接收被板向上反射的光栅图案光并且采集反射图像；以及光路改变部，其改变被板向上反射的光栅图案光的光路并且将光栅图案光引导到图像采集部，从而使得光栅图案光向下入射到图像采集部。光学组件移动部布置在光学组件的上方并且与光学组件相连，以使光学组件移动。因此，可以缩短检验板所需的时间并且保证检验板所需的空间。

主权项

一种检验设备，包括：工作架部，其用于将板移动到测量位置并且支撑所述板；光学组件，其包括：投射部，其布置在所述板的上方，以将光栅图案光投射到所述板上；图像采集部，其布置在所述投射部的侧部处，以接收被所述板向上反射的光栅图案光并且采集反射图像；以及第一光路改变部，其改变被所述板向上反射的光栅图案光的光路并且将光栅图案光引导到所述图像采集部，从而使光栅图案光向下入射到所述图像采集部中；以及光学组件移动部，其布置在所述光学组件的上方，并且与所述光学组件相连以使所述光学组件移动。