[发明专利]一种用于显示重掺N型直拉硅单晶空洞型缺陷的腐蚀液有效
| 申请号： | 201110342033.0 | 申请日： | 2011-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN102507293A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 马向阳;徐涛;杨德仁 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01N1/32 | 分类号： | G01N1/32;G01N21/95 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于显示重掺N型直拉硅单晶空洞型缺陷的腐蚀液，由摩尔浓度为0.2～0.25mol/L的三氧化铬溶液和质量浓度为40％～49％的氢氟酸按体积比为2∶3～3∶2混合制成。该腐蚀液适用范围广，可以用于掺杂浓度为1.6×10191.1×1020cm-3的<100>、<111>等不同晶向重掺N型直拉硅单晶中空洞型缺陷的择优腐蚀，尤其适用于重掺杂、低阻直拉硅单晶空洞型缺陷的显示；具有腐蚀速度快，腐蚀效果好，图像形貌规则、清晰易辨，操作简单方便等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 显示 型直拉硅单晶 空洞 缺陷 腐蚀 | ||
【主权项】：
一种用于显示重掺N型直拉硅单晶空洞型缺陷的腐蚀液，其特征在于，由摩尔浓度为0.2～0.25mol/L的CrO3溶液和质量浓度为40％～49％的氢氟酸按体积比2∶3～3∶2混合制成。
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