[发明专利]部分补偿非球面反射镜面形检测方法

摘要

本发明涉及一种部分补偿非球面反射镜面形检测方法，该方法包括下述步骤：对部分补偿元件进行标定，得到标定的相位分布Wb；利用标定的相位分布Wb、球面理论波前Wq和非球面理论波前Wf得到数字虚拟样板的相位分布Wy；对待测非球面反射镜面形进行测量，得到相位分布Wa；从测量得到的相位分布Wa中减去数字虚拟样板的相位分布Wy，获得非球面的面形误差分布Wm。本发明利用单块的部分补偿元件，就能够准确的实现对光学非球面面形的测量，降低了补偿器的设计难度、简化了补偿器的结构，其物理概念明确，数据处理和数学运算简单，实验操作简单易行，检测成本很低，测试时间短。

主权项

一种部分补偿非球面反射镜面形检测方法，其特征在于包括如下步骤：一、对部分补偿元件进行标定，具体标定过程如下：1)、将单块透镜作为部分补偿元件放置于干涉仪与标准球面反射镜之间；2)、调整干涉仪、部分补偿元件及标准球面反射镜的位置和角度，使干涉仪出射的标准球面波或平面波透过部分补偿元件后入射到标准球面反射镜上，经过标准球面反射镜反射后按原路返回，与干涉仪出射的标准球面波或者平面波产生干涉形成干涉条纹，由此得到相位分布Wb；二、数字虚拟样板的相位分布Wy的求解及制作：利用标定的相位分布Wb、球面理论波前Wq和非球面理论波前Wf得到数字虚拟样板的相位分布Wy，将Wy存成干涉仪的系统误差文件；Wy＝Wb+(Wq‑Wf)三、待测非球面反射镜面形的测量1)、将部分补偿元件放置于干涉仪与待测非球面反射镜之间；2)、调整干涉仪、部分补偿元件及待测非球面反射镜的位置和角度，使干涉仪出射的标准球面波或平面波透过部分补偿元件后入射到待测非球面反射镜上，经过待测非球面反射镜反射后返回，与干涉仪出射的标准球面波或者平面波产生干涉形成干涉条纹，由此得到相位分布Wa；3)、从测量得到的相位分布Wa中减去数字虚拟样板的相位分布Wy，得到Wm；Wm＝Wa‑Wy四、判断Wm的均方根值与待测非球面反射镜面形精度要求的设计值之间的相对偏差是否大于20％；若大于20％，则重复步骤一、二、三，对待测非球面反射镜的面形进行检测，直至得到的Wm的均方根值与待测非球面反射镜面形精度要求的设计值之间的相对偏差小于20％，此时得到的Wm即为待测非球面反射镜 的面形误差分布。