[发明专利]光栅有效
| 申请号： | 201110333562.4 | 申请日： | 2011-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN103091748A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 朱振东;李群庆;张立辉;陈墨 | 申请（专利权）人： | 清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区清*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光栅，该光栅包括一基底，该基底的一表面形成有多个凸棱，所述多个凸棱相互平行且间隔设置，相邻的两个凸棱之间形成一凹槽，所述每个凹槽的深宽比大于或等于6：1，凹槽的宽度范围为25纳米至150纳米。本发明提供的高密度、高深宽比的亚波长光栅，可以较好的衍射光波。 | ||
| 搜索关键词： | 光栅 | ||
【主权项】：
一种光栅，该光栅包括一基底，该基底的一表面形成有多个凸棱，所述多个凸棱相互平行且间隔设置，相邻的两个凸棱之间形成一凹槽，所述多个凸棱之间形成多个凹槽，其特征在于，所述多个凹槽中的每个凹槽的深宽比大于或等于6：1，凹槽的宽度范围为25纳米至150纳米。
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