[发明专利]有多个半透过部分的半色调掩模及其制造方法

摘要

本发明公开一种有多种半透射部分的半色调掩模及其制造方法，使该掩模具有至少两个或更多个其光透射互不相同的半透射部分，利用该一个掩模可以对多个层进行图案化。所述有多个半透射部分的半色调掩模包括：透明基板，在透明基板上形成的以透射预定波段的辐射光的光透射部分，在透明基板上形成以遮蔽预定波段的辐射光的遮光部分，以及通过将半透射材料沉积在所述透明基板上形成的用于以不同的光透射使所述预定波段的辐射光穿过的至少两个或更多个半透射部分。

主权项

一种具有多个半透射部分的半色调掩模，包括：透明基板；光透射部分，其形成于所述透明基板上以透射预定波段的辐射光；遮光部分，其形成于所述透明基板上以遮蔽所述预定波段的辐射光；以及至少两个或更多个半透射部分，其通过将半透射材料沉积在所述透明基板上形成，用于以各不相同的光透射使所述预定波段的辐射光穿过，其中所述半透射材料包括作为主要元素的Cr、Si、Mo、Ta、Ti和Al，以及是至少两种或更多种主要元素混合而成的复合材料，或者是在复合材料中加入了COx、Ox和Nx中的至少一种的其他材料。