[发明专利]一种固晶摆臂的解耦式直驱装置无效
| 申请号： | 201110318538.3 | 申请日： | 2011-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN102788130A | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 杨宁;王敕 | 申请（专利权）人： | 常熟艾科瑞思封装自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | F16H35/00 | 分类号： | F16H35/00;H01L21/677 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215513 江苏省苏州市常熟*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种固晶摆臂的解耦式直驱装置，包括旋转直驱装置、线性直驱装置和花键机构；花键机构包括花键轴（外花键）、和花键母（内花键）；旋转直驱装置的转动部件与线性直驱装置的线性运动部件中的一个与花键轴相连并同步运动，另外一个与花键母相连并同步运动；通过该花键机构将摆臂运动所需的旋转运动和线性运动解耦到旋转直驱装置和线性直驱装置上，以降低固晶摆臂的解耦式直驱装置的驱动负载，扩展旋转直驱装置和线性直驱装置的设计空间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固晶摆臂 解耦式直驱 装置 | ||
【主权项】：
一种固晶摆臂的解耦式直驱装置，包括旋转直驱装置、线性直驱装置和花键机构，其特征在于：该花键机构包括花键轴（外花键）、和花键母（内花键），并且旋转直驱装置的转动部件与所述线性直驱装置的线性运动部件中的一个与花键轴相连并同步运动，另外一个与花键母相连并同步运动。
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