[发明专利]多象限光电探测器检测系统

摘要

本发明公开了一种多象限探测器检测系统，由激光发射系统发射出的激光信号经过发射光学系统的整形照射在多象限探测器上和视频处理系统上，由视频处理系统检测激光光斑在多象限探测器上的位置，监视系统反馈给观测者其在探测器上的位置，由多维调节架调整多象限探测器，使其照射到合适的位置，用精密角度调节机构调整光斑照入射到多象限探测器上的角度。旋转机构带动多象限探测器转动，通过信号传输系统将多象限探测器信号由信号接收系统输入计算机。此测试系统能够模拟多象限探测器的实际工作状况，即可实现多象限探测器的动态测量与不同角度的测量，能够检测出多象限探测器中不符合要求的产品，为以多象限探测器所组成的系统的准确性提供了保障。

主权项

一种多象限光电探测器检测系统，其特征在于：包括暗箱[1]、测试镜头[2]、旋转测试箱[3]、四维调节机构[4]、三维调节机构[5]、角度调节机构[6]、激光发射系统[7]、扩束光学系统[8]、45º半反射半透镜[9]、待测探测器[10]、专用夹具[11]、旋转测试轴[12]、导电滑环[13]、直流电机[14]、监视系统[15]、圆弧导轨[16]、底板[17]、数据采集卡[18]、计算机[19]、CCD摄像头[20]、视频处理系统[21]、液晶显示器[22]、1.06um激光器[23]、波长稳定系统[24]、功率稳定系统[25]和尾部滑块[26]；暗箱[1]位于四维调节机构[4]的上方，四维调节机构[4]固定在底板[17]的左端；旋转测试箱[3]位于角度调节机构[6]上方，角度调节机构[6]固定在圆弧导轨[16]上，圆弧导轨[16]固定在底板[17]的右端；测试镜头[2]通过支架固定于三维调节机构[5]上，三维调节机构[5]安装在底板[17]的中部，位于暗箱[1]与旋转测试箱[3]之间；激光发射系统[7]、扩束光学系统[8]、45º半反射半透镜[9]和监视系统[15]安装在暗箱[1]中，从左往右依次为激光发射系统[7]、扩束光学系统[8]、45º半反射半透镜[9]，监视系统[15]位于45º半反射半透镜[9]的左方；旋转测试轴[12]、导电滑环[13]和直流电机[14]处于旋转测试箱[3]中；导电滑环[13]套在旋转测试轴[12]上；直流电机[14]与旋转测试轴[12]的尾部相连，并通过螺钉固定在旋转测试箱[3]中的支架上；旋转测试轴[12]通过轴承支撑在旋转测试箱[3]中的支架上；激光发射系统[7]发射出激光束经扩束光学系统[8]、45º半反射半透镜[9]和测试镜头[2]照射在待测探测器[10]的探侧面上,待测探测器[10]随着旋转测试轴[12]由直流电机[14]带动一起旋转，待测探测器[10]所响应的信号经导电滑环[13]和数据采集卡[18]输入计算机[19]；在测试的同时，照射待测探测器[10]上的激光束，经过45º半反射半透镜[9]到达监视系统[15]的入口，监视系统[15]中的CCD摄像头[20]将采集来的待测探测器[10]的表面情况送入视频处理系统[21],经过视频处理系统[21]的处理与叠加产生可移动的十字分化线，最后由监视系统[15]中的液晶显示器[22]显示最终图像。