[发明专利]大口径取样光栅取样率的测试装置及测试方法有效
| 申请号： | 201110311551.6 | 申请日： | 2011-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN103033340A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 陈永权;赵建科;段亚轩;李霞;李坤;赛建刚 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01J1/00 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 姚敏杰 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种大口径取样光栅取样率的测试装置及测试方法，该大口径取样光栅取样率的测试装置包括激光器、分束镜、第一积分球功率计、第二积分球功率计、用于对大口径取样光栅进行扫描的二维扫描镜组以及控制与采集处理系统；分束镜设置于激光器的出射光路上；第一积分球功率计置于经分束镜的透射光路上；二维扫描镜组置于经分束镜的反射光路上；第二积分球功率计置于经二维扫描镜组后透过被测取样光栅的-1级衍射光路上；第一积分球功率计以及第二积分球功率计分别与控制与采集处理系统相连。本发明提供了一种可解决大口径取样光栅取样率的测试问题，并很好的保证了测试精度的大口径取样光栅取样率的测试装置及测试方法。 | ||
| 搜索关键词： | 口径 取样 光栅 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种大口径取样光栅取样率的测试装置，其特征在于：所述大口径取样光栅取样率的测试装置包括激光器、分束镜、第一积分球功率计、第二积分球功率计、用于对大口径取样光栅进行扫描的二维扫描镜组以及控制与采集处理系统；所述分束镜设置于激光器的出射光路上；所述第一积分球功率计置于经分束镜的透射光路上；所述二维扫描镜组置于经分束镜的反射光路上；所述第二积分球功率计置于经二维扫描镜组后透过被测取样光栅的‑1级衍射光路上；所述第一积分球功率计以及第二积分球功率计分别与控制与采集处理系统相连。
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