[发明专利]光电检测系统的探头下压装置与下压方法

摘要

本发明公开了一种光电检测系统的探头下压装置与下压方法，装置包括：用于放置被测物体的底盘、设置在底盘上方并能相对底盘在竖直方向上移动的探头、与探头连接从而控制探头的移动的下压模块。探头具备本体和由弹性材料构成的缓冲部件，缓冲部件具备与本体固定连接的固定端，以及能在竖直方向上相对本体滑动的滑动端，下压模块与缓冲部件的滑动端固定连接。根据本发明实施的探头下压装置能在探头下压至接触被测物体时产生压力，随着下压模块进一步下降，缓冲部件的变形量与探头的下降量相等，缓冲探头对底盘的压力平稳增加，能够保证最终被测物体所受的压力基本保持恒定，进而大幅度提高检测精度。

主权项

一种光电检测系统的探头下压装置，包括：用于放置被测物体的底盘、设置在所述底盘上方并能相对所述底盘在竖直方向上移动的探头、与所述探头连接从而控制所述探头的移动的下压模块，其特征在于：所述探头具备本体和由弹性材料构成的缓冲部件，所述缓冲部件具备与所述本体固定连接的固定端，以及能在竖直方向上相对所述本体滑动的滑动端，所述下压模块与所述缓冲部件的滑动端固定连接。