[发明专利]HMDS自动供应系统及其自动供应的方法

摘要

本发明提供一种HMDS自动供应系统，包括：储液罐，内有HMDS储液瓶；鼓泡罐，通过管道与储液罐相连，管道上有HMDS供应阀；第一加压气体提供单元，通过管道与储液罐相连，管道上有第一加压阀；鼓泡气体提供单元，通过管道与鼓泡罐相连；第二加压气体提供单元，通过管道与鼓泡罐相连；泄压管道，将储液罐和鼓泡罐与大气连通，泄压管道上有第一/第二泄压阀；液位下限/上限检测传感器，位于鼓泡罐外侧接近其底部/顶部的位置处；供应控制单元，与液位下限/上限检测传感器、第一加压阀、HMDS供应阀、第一/第二泄压阀相连。另外，本发明还提供一种HMDS自动供应的方法。本发明实现了将HMDS液体自动供应到鼓泡罐内的过程，提高了光刻设备的利用率，降低了制造成本。

主权项

一种HMDS自动供应系统(200)，包括：储液罐(201)，其内放置有HMDS储液瓶(202)；鼓泡罐(203)，通过HMDS供应管道(204)与所述储液罐(201)相连接，所述HMDS供应管道(204)伸入所述HMDS储液瓶(202)内的液态HMDS中，所述HMDS供应管道(204)上设置有HMDS供应阀(205)；第一加压气体提供单元(210)，通过第一加压气体提供管道(211)与所述储液罐(201)相连接，用于向所述储液罐(201)通入第一加压气体加压，以将所述HMDS储液瓶(202)中的液态HMDS供应到所述鼓泡罐(203)中，所述第一加压气体提供管道(211)上设置有第一加压阀(206)；鼓泡气体提供单元(212)，通过鼓泡气体提供管道(213)与所述鼓泡罐(203)相连接，所述鼓泡气体提供管道(213)伸入所述鼓泡罐(203)内的液态HMDS中，用于将所述液态HMDS鼓泡形成气态状；第二加压气体提供单元(214)，通过第二加压气体提供管道(215)与所述鼓泡罐(203)相连接，用于向所述鼓泡罐(203)加压，通过气态HMDS供应管道(216)将所述气态状的HMDS输出到工艺腔内；泄压管道(217)，分别将所述储液罐(201)和所述鼓泡罐(203)与大气相连通，用于将所述储液罐(201)和所述鼓泡罐(203)内的高压气体泄出并恢复至大气压，所述泄压管道(217)上设置有第一泄压阀(207)和第二泄压阀(208)，用于分别控制所述储液罐(201)和所述鼓泡罐(203)进行泄压；液位下限检测传感器(221)，位于所述鼓泡罐(203)外侧接近其底部的位置处，用于当所述鼓泡罐(203)内的所述液态HMDS的量达到预定液位下限时，发出所述鼓泡罐(203)已达液位下限的信号；液位上限检测传感器(222)，位于所述鼓泡罐(203)外侧接近其顶部的位置处，用于当所述鼓泡罐(203)内的所述液态HMDS的量达到预定液位上限时，发出所述鼓泡罐(203)已达液位上限的信号；以及供应控制单元(230)，分别与所述液位下限检测传感器(221)、所述液位上限检测传感器(222)、所述第一加压阀(206)、所述HMDS供应阀(205)、所述第一泄压阀(207)和所述第二泄压阀(208)相连接，用于当所述液位下限检测传感器(221)或者所述液位上限检测传感器(222)检测到所述鼓泡罐(203)内的所述液态HMDS的量达到预定液位下限或者上限时，控制开启或者关闭所述第一加压阀(206)、所述HMDS供应阀(205)、所述第二泄压阀(208)和所述第一泄压阀(207)。