[发明专利]一种PECVD玻璃承载盘高温传动轮组无效
| 申请号： | 201110282380.9 | 申请日： | 2011-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN103011613A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 周文彬;刘幼海;刘吉人 | 申请（专利权）人： | 吉富新能源科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201707 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明系提供一种PECVD承载盘高温传动轮组，通过设置的阻热片及间隔环隔绝腔室内因加热器动作而产生得高温，同时负责传动承载盘的滚轮使用一体成形金属加工滚轮再经过表面硬化处理，使其能承受高温环近下工作，有效减少传动系统因高温长期使用下使得内部传动陪林卡死的故障，大幅减少PECVD维护成本及停机时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pecvd 玻璃 承载 高温 传动 | ||
【主权项】：
一种PECVD玻璃承载盘高温传动轮组，其包括：外部传动齿轮、市售磁流体密封传动轴、配接器、轮轴轴心、陪林组、间隔环、阻热片、滚轮卡片、滚轮及滚轮固定片组成。
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