[发明专利]薄膜太阳能电池前电极透明导电薄膜的制绒工艺

摘要

本发明公开了一种薄膜太阳能电池前电极透明导电薄膜的制绒工艺，包括浸泡、清洗、烘干三个依次进行的工序步骤，所述的浸泡、清洗、烘干工序采用自动控制方法进行自动连续浸泡刻蚀制绒；透明导电薄膜蚀刻的溶液由草酸、盐酸、表面活性稳定剂和去离子水按如下的重量比比例配制而成：草酸0.1wt%～1.5wt%；盐酸0.3wt%～2.5wt%；表面活性稳定剂0.01wt%～0.5wt%；其余为去离子水；通过采用自主配制的刻蚀溶液、自动上下料技术、自动温度调节技术、自动浸泡技术、自动清洗技术、自动烘干干燥技术和自动监测控制技术等众多技术的综合配套，实现了薄膜太阳能电池所需透明导电薄膜的工业化自动连续浸泡刻蚀生产。

主权项

薄膜太阳能电池前电极透明导电薄膜的制绒工艺，包括浸泡、清洗、烘干三个依次进行的工序步骤，其特征在于，所述的浸泡、清洗、烘干工序采用自动控制方法进行自动连续浸泡刻蚀制绒；透明导电薄膜蚀刻的溶液由草酸、盐酸、表面活性稳定剂和去离子水按如下的重量比比例配制而成：草酸0.1wt%～1.5wt%；盐酸0.3wt%～2.5wt%；表面活性稳定剂0.01wt%～0.5wt%；其余为去离子水；所述表面活性稳定剂为烷基酚聚氧乙烯醚系列表面活性稳定剂、脂肪醇聚氧乙烯醚系列表面活性稳定剂、脂肪酸聚氧乙烯醚系列表面活性稳定剂中的一种或者几种的混合物；在浸泡、清洗、烘干工序中上下料采用自动控制手段，通过对不同规格和基体材料的已经沉积好透明导电薄膜的物料进行自动识别和分料，来确定各工序的工艺参数和选用相对应的透明导电薄膜刻蚀溶液；在浸泡、清洗、烘干工序中采用自动控制手段根据不同的环境温度自主调节控制浸泡工序、清洗工序的温度，确保透明导电薄膜制绒过程中浸泡工序和清洗工序的温度稳定在20℃～25℃之间；烘干工序干燥的温度根据已经沉积好透明导电薄膜的不同规格和基体材料自动控制在40℃～75℃；在浸泡、清洗、烘干工序中采用自动监测手段，进行自动反馈和异常报警，并及时纪录或者自动停止运行。