[发明专利]设有双法拉第筒的电子束束斑尺寸测量装置及其测量方法有效
| 申请号： | 201110257322.0 | 申请日： | 2011-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN102435128A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 赵健;夏忠平;张学渊;钟伟杰 | 申请（专利权）人： | 上海显恒光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/00 | 分类号： | G01B7/00 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 何新平 |
| 地址： | 200233 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及电子技术领域，具体涉及一种测量装置。设有双法拉第筒的电子束束斑尺寸测量装置，包括辅助偏转系统、法拉第筒、与法拉第筒连接的电流测量系统，辅助偏转系统与法拉第筒之间设有辅助法拉第筒，辅助法拉第筒上设有竖直的通孔，通孔将辅助法拉第筒分割成左右两部分，左右两部分的辅助法拉第筒分别连接电流测量系统。通孔的底部设有一朝向通孔顶部的截头圆锥形拦截筒，拦截筒中空，拦截筒上窄下宽。由于采用上述技术方案，本发明的测量装置和测量方法可以有效减少刀口散射产生的测量误差，且实施简单方便。 | ||
| 搜索关键词： | 设有 法拉第 电子束 尺寸 测量 装置 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
设有双法拉第筒的电子束束斑尺寸测量装置，包括一辅助偏转系统、一法拉第筒、一与所述法拉第筒连接的电流测量系统，其特征在于，所述辅助偏转系统与所述法拉第筒之间设有一辅助法拉第筒，所述辅助法拉第筒上设有一竖直的通孔，所述通孔将所述辅助法拉第筒分割成左右两部分，左右两部分的所述辅助法拉第筒分别连接所述电流测量系统；所述通孔的底部设有一朝向所述通孔顶部的截头圆锥形拦截筒，所述拦截筒中空，所述拦截筒上窄下宽。
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