[发明专利]具有多个光电探测器的扫描光谱仪

摘要

本发明涉及一种具有探测器阵列的扫描光学光谱仪，其中利用微机电(MEMS)可倾斜微镜扫描在诸如具有平板波导输入的阵列波导光栅(AWG)的色散元件的输入端的光的聚焦光斑的位置，以便在耦合到AWG的探测器阵列上扫描光的色散光谱。用处理器单元连接单个探测器记录的亚光谱以获得输入光的光谱。

主权项

一种用于测量光纤网络中的光信号的光功率，或中心波长，或光信噪比的光性能监测器，所述监测器包括：第一输入波导，其用于发射包含第一光信号的光；阵列波导光栅多路分配器，其用于将由所述第一输入波导发射的所述光分成光频率成分，所述阵列波导光栅多路分配器具有：输入平板波导，耦合到所述输入平板波导的光栅波导阵列，耦合到所述光栅波导阵列的输出平板波导，以及耦合到所述输出平板波导的星形耦合器；其中，所述星形耦合器具有多个输出波导，其中，每个所述输出波导被耦合到用于响应照射到其上的光以产生电信号的光电二极管；耦合器，其用于将所述第一输入波导发射的光耦合到具有第一倾角的可倾斜微机电镜，并用于在由所述第一倾角限定的位置处将从所述微机电镜反射的所述光自由空间耦合到所述阵列波导光栅多路分配器的所述输入平板波导；以及控制器，其用于在第一扫描周期期间连续扫描所述微机电镜的所述第一倾角，并且用于在所述第一扫描周期期间从所述光电二极管采集所述第一电信号，以及用于结合所述第一信号以便获得所述光纤网络中的所述第一光信号的光功率，或中心波长，或光信噪比。