[发明专利]一种氧化钒复合薄膜及其制备方法

摘要

本发明公开了一种氧化钒复合薄膜及其制备方法，其特征在于，该薄膜为氧化钒－富勒烯复合薄膜，即由二维的氧化钒与零维的富勒烯相复合而成。这种氧化钒－富勒烯复合薄膜能结合氧化钒、富勒烯两种成分的优点，克服单纯氧化钒薄膜在制备方法与材料性能等方面的不足，从而能够在保持较高的电阻温度系数的条件下，具备更加优良的导电性、以及在可见光到远红外波段更加优良的光吸收性能；此外，依靠零维富勒烯的光响应各向同性，氧化钒－富勒烯复合薄膜还具有更加灵敏、更加稳定的光学响应特性。采用这种氧化钒－富勒烯复合薄膜作为太赫兹探测器或红外探测器的热敏电阻材料及光吸收材料，能够提高器件的综合性能。

主权项

一种氧化钒复合薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：① 清洗衬底，吹干后备用；② 事先准备好富勒烯，备用；③ 氧化钒溶胶的制备：将氧化钒粉末与有机溶剂相混合，加热反应，然后通过离心分离，除去不溶物，提取上清液静置，再进行离心分离，如此反复，直至完全除去不溶物，获得没有沉淀的氧化钒有机溶胶，备用； ④氧化钒与富勒烯的反应：把步骤②准备的富勒烯与步骤③制备的氧化钒溶胶相混合，超声分散富勒烯，形成氧化钒与富勒烯相混合的新溶胶； ⑤复合薄膜的制备：把步骤④制备的氧化钒与富勒烯相混合的新溶胶旋涂在清洁的衬底表面，经过退火处理，蒸发掉有机溶剂，形成氧化钒－富勒烯复合薄膜；⑥冷却至室温后，从反应器中取出；⑦根据需要，依次重复氧化钒与富勒烯的混合反应、溶胶旋涂、和退火步骤，形成氧化钒－富勒烯多层复合薄膜结构。