[发明专利]化学品监控报警系统及利用该系统实施监控化学品使用量或库存量的方法

摘要

本发明一般涉及一种在半导体行业中监控化学品状态的系统及该系统的应用方法，更确切的说，本发明旨在提供一种化学品监控报警系统及利用该系统实施监控化学品使用量或库存量的方法，能根据历史数据设置化学品动态使用量预警上下限阈值和动态库存量预警阈值，实现使用量和库存量异常时及时、有效预警。此发明的提出，对于提高半导体制造、液晶面板制造、太阳能制造等高科技制造业的化学品管理效率，降低化学品供应风险，保障生产线安全正常生产都具有重大意义。

主权项

一种用于监控化学品使用量的预警方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤S1、采集生产线进行生产的当天所需的化学品使用量指标数据和统计至少一个时间粒度t内的化学品的历史使用量指标数据的数值集合；步骤S2、计算化学品的历史使用量指标数据的数值集合的数学期望值μ和均方差值σ，并利用所述数学期望值μ作为化学品的动态使用量预警基准值；步骤S3、依据所述动态使用量预警基准值和均方差值σ来设置化学品的动态使用量上限预警阈值和动态使用量下限预警阈值；步骤S4、将所述化学品使用量指标数据与动态使用量上限预警阈值和所述动态使用量下限预警阈值进行比较；当所述化学品使用量指标数据不在所述动态使用量上限预警阈值和所述动态使用量下限预警阈值的范围内时，进行预警，并对生产线所消耗的化学品使用量继续进行监控；以及当所述化学品使用量指标数据在所述动态使用量上限预警阈值和所述动态使用量下限预警阈值的范围内时，继续对生产线所消耗的化学品使用量进行监控。