[发明专利]具有侦测制程边界角与极端温度的电路有效
| 申请号： | 201110235305.7 | 申请日： | 2011-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN102788949A | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 陈宜隆 | 申请（专利权）人： | 创杰科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R31/30;G01K7/00 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健;王俊民 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种具有侦测制程边界角与极端温度的电路。其主要包含一正比于绝对温度(Proportional to Absolute Temperature，PTAT)电流源、一反比于绝对温度(Negative to Absolute Temperature，NTAT)电流源、一绝对温度常数(Constant to Absolute Temperature，CTAT)电流源、一边界角检测器、一多重侦测器、一极端温度检测器。该电路可不需权衡取舍而节省较多功率消耗。在除错阶段，待测样品可以读出样品状态，并可执行快速模拟检查以确认真正问题。在生产阶段，制程侦测器可以在CP机台中读出指数。此外，本发明可容易收集与分析大量的数据。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 侦测 边界 极端 温度 电路 | ||
【主权项】：
一种具有侦测制程边界角与极端温度的电路，其特征在于，包括：一正比于绝对温度的电流源，其具有一输出端用以提供第一电流；一反比于绝对温度的电流源，其具有一输出端用以提供第二电流；一不随绝对温度改变的电流源，其具有一输出端用以提供第三电流；一边界角检测器，其具有一输入端与一输出端，其中该输入端电性连结至不随绝对温度改变的电流源的该输出端，用以显示一被检测电路的边界角状态；一多晶硅检测器，其具有一第一输入端、一第二输入端、一第三输入端与一输出端，其中该第一输入端电性连结至正比于绝对温度的电流源的输出端；该第二输入端电性连结至反比于绝对温度的电流源的输出端；以及，该第三输入端电性连结至不随绝对温度改变的电流源的输出端，用以显示被检测电路的多晶硅层的状态；以及一极端温度检测器，其具有一第一输入端、一第二输入端与一输出端，其中该第一输入端电性连结至正比于绝对温度的电流源的输出端；以及，该第二输入端电性连结至多晶硅检测器的该输出端，用以显示该被检测电路的温度状态。
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