[发明专利]一种离子棒无效
| 申请号： | 201110235253.3 | 申请日： | 2011-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN102448237A | 公开（公告）日： | 2012-05-09 |
| 发明（设计）人： | 毛智彪;王剑;戴韫青 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H05F3/06 | 分类号： | H05F3/06 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种离子棒。离子棒至少包括离子棒前端和后端两个部分，离子棒的前端和后端由可控万向接口连接，后端末梢为螺纹结构。离子棒可由后端末梢的螺纹固定在工作台面上方，可控万向接口在垂直面内可调节角度范围为0度至正/负180度，在水平面内可调节角度范围为0度至正/负360度。本发明可调节可控万向接口，从而调整离子棒前端的方向和角度，解决了在生产中固定式离子棒影响设备搬运和维护的问题和凹面工作平面去除离子效果差的问题。可以有效地提高离子棒的使用方便性和去除静电离子效果，非常适于实用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子棒 | ||
【主权项】：
一种去除静电离子的离子棒，其特征在于，其至少包括离子棒前端和后端两个部分，离子棒的前端和后端由可控万向接口连接，后端末梢为螺纹结构。
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