[发明专利]亲水性单体、亲水性光阻剂组成物及光阻图形形成方法无效
| 申请号： | 201110053829.4 | 申请日： | 2011-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN102199282A | 公开（公告）日： | 2011-09-28 |
| 发明（设计）人： | 汤逢锦;谢文仁;陈建廷 | 申请（专利权）人： | 华映视讯（吴江）有限公司;中华映管股份有限公司 |
| 主分类号： | C08G65/00 | 分类号： | C08G65/00;C07C69/54;C07C219/20;G03F7/00;G03F7/004;G03F7/027 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 胡晶 |
| 地址： | 215217 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明在提供一种亲水性单体，以及含有该亲水性单体的亲水性光阻剂组成物。上述光阻剂组成物还包含有一亲水性树脂，而该亲水性单体与该亲水性树脂分别具有亲水性官能基，可与水分子作用而溶解于纯水。本发明还提供一种光阻图形的形成方法，包括涂布亲水性光阻剂组成物于基材的表面，形成一光阻层；藉此，可利用纯水对该光阻层进行显影洗净，以克服公知技术中须使用碱性显影化学溶液所致生的环境破坏，并且降低使用碱性显影剂的成本，提升微影制程的效益。 | ||
| 搜索关键词： | 亲水性 单体 光阻剂 组成 图形 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种式I所示的亲水性单体，其特征在于， ![]()
R1为n个聚氧乙烯基，或-(OC2H2NHC2H2)m；R2为氢或甲烷基；n是1到20的自然数；以及m是1到20的自然数。
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