[发明专利]一种微型传感器用温度控制装置无效
| 申请号： | 201110006491.7 | 申请日： | 2011-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN102135438A | 公开（公告）日： | 2011-07-27 |
| 发明（设计）人： | 李枚;施志贵;代刚;何晓平 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | G01D3/028 | 分类号： | G01D3/028;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人： | 翟长明;何勇盛 |
| 地址： | 621900 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种用于微型传感器的局部温度控制装置，其特点是，在微型传感器内部设置微加热器和微温度敏感器，通过微加热器使微型传感器机械敏感芯片局部环境温度上升，达到预设温度点；微温度敏感器感测环境温度变化；温度点控制电路与微温度敏感器和微加热器相连，根据微温度敏感器的输出控制微加热器加热电流。微加热器和微温度敏感器为微米级尺度电子学部件，采用微电子机械系统加工工艺制备，与微传感器机械敏感芯片集成为一体化元件。本发明可提高微型传感器使用精度，用于具备高精度测量特性的微型传感器中，用于对温度不敏感的微型传感器中，用于具备快速启动特性的微型传感器中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 传感 器用 温度 控制 装置 | ||
【主权项】：
一种微型传感器用温度控制装置，其特征在于：所述的温度控制装置包括衬底基板、微加热器、微温度敏感器、温度点控制电路，微加热器、微温度敏感器与衬底基板连接，微加热器、微温度敏感器与温度点控制电路电连接。
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