[发明专利]等能量脉波同步运动的雷射装置

摘要

一种等能量脉波同步运动的雷射装置，包含：共振腔，输出脉宽时间及能量稳定的多个脉波；光束开关调制器，选择性地让其中一脉波通过；光束能量调制器，依据功率回授信号调整脉波的能量；光功率传感器，感测脉波的能量及脉宽时间；运动控制器，提供加工运动信息；光回授控制器，依据脉波能量及加工运动信息，输出功率回授信号至光束能量调制器；触发控制器，量测脉波自触发至光功率传感器检测到的时间差，并校正光束开关调制器开启时间点。藉此，可稳定加工质量，而应用于各雷射工业制程。

主权项

一种等能量脉波同步运动的雷射装置，其特征在于，包含：一共振腔，输出脉宽时间及能量稳定的多个脉波；一光束开关调制器，选择性地让该共振腔输出的该些脉波其中之一通过；一光束能量调制器，依据一功率回授信号调整通过该光束开关调制器的该脉波的能量后，输出该脉波以进行加工；一光功率传感器，感测该光束能量调制器输出的该脉波的能量及脉宽时间；一光回授控制器，电连接于该光功率传感器及该光束能量调制器之间，依据一加工运动信息及该光功率传感器感测的能量，而输出该功率回授信号至该光束能量调制器，其中，该加工运动信息包含该脉波与该加工件的相对运动参数；一触发控制器，电连接至该光功率传感器及该光束开关调制器，该触发控制器触发该光束开关调制器开启并量测自触发至该光功率传感器检测到该脉波的一时间差，并根据该时间差与加工运动信息而校正该光束开关调制器开启时间点；及一运动控制器，电连接至该光回授控制器及该触发控制器，传送该加工运动信息至该光回授控制器及该触发控制器。