[发明专利]衬底支承体有效
| 申请号： | 201080055533.X | 申请日： | 2010-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN102686768A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 托尔斯滕·科恩迈尔 | 申请（专利权）人： | KGT石墨科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458;H01L21/67 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 车文;樊卫民 |
| 地址： | 德国温*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于对待处理的衬底或晶片进行容纳并且输送进入或穿过处理设备的衬底支承体。借助本发明要建立一种衬底支承体，其可以尽可能通用地使用或者说对于具体任务可简单轻松地匹配，并且节约材料。这通过如下方式达到：在由纵向支承体和横向支承体（2、3）构成的框架（1）内，彼此格栅式地交叉地布置有多个纵向接片和横向接片（4、5），从而形成基本格栅用以直接或间接容纳衬底。不仅纵向支承体和横向支承体（2、3）而且纵向接片和横向接片（4、5）都形状配合地彼此连接。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 支承 | ||
【主权项】：
用于对待处理的衬底或晶片进行容纳并且输送到处理设备中或输送通过处理设备的衬底支承体，其特征在于，在由纵向支承体和横向支承体（2、3）构成的框架（1）内多个纵向接片和横向接片（4、5）彼此格栅式交叉地布置并且相互连接，从而形成基本格栅用于直接或间接容纳衬底。
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- 2019-07-23 - 2019-10-15 - C23C14/50
- 本发明公开了一种可以同时大批量制备表面增强拉曼基底的样品台，用于大批量制备表面增强拉曼基底，属于痕量有机物检测技术领域。所述样品台包括支撑部分和凸台形圆环，所述凸台形圆环的上方直径大于底部直径，所述凸台的表面呈圆弧形状。本发明的样品台，可以采用倾斜生长法同时在多个基片上沉积银纳米棒。由多基片银纳米棒构成的阵列薄膜，具有较好的产品一致性，可以提高传统制备方法的生产效率。
- 一种真空镀膜衬底底座-201611136440.5
- 冯斌;任高潮;顾为民;金浩;王德苗 - 苏州求是真空电子有限公司
- 2016-12-12 - 2019-10-15 - C23C14/50
- 本发明公开了一种真空镀膜衬底底座，包括衬底托盘、转轴和传动轴，所述传动轴与旋转机构连接，所述衬底托盘通过设置于中心处的转轴与传动轴相连，所述衬底托盘底部设置有以托盘中心为圆心的圆环形凹槽，所述衬底托盘底部还设置有角度调节杆，所述角度调节杆一端固定在设备底座上，另一端为接触球端，所述接触球端可在圆环形凹槽内滑动。本发明可以实现衬底底座的简单的类行星式转动，以使衬底底座在加工过程中能够旋转、翻转，达到改善真空镀膜工艺对非平面结构的台阶覆盖率，尤其是深孔镀膜情况下的改善深孔内壁膜厚均匀性。
- 一种镀膜治具及承载工装-201822093290.5
- 余荣军;蒯泽文;朱亚蒙 - 浙江舜宇光学有限公司
- 2018-12-13 - 2019-10-15 - C23C14/50
- 本实用新型涉及一种镀膜治具及承载工装，包括：用于夹持物料的第一夹持件(11)和第二夹持件(12)，以及用于连接所述第一夹持件(11)和所述第二夹持件(12)的连接件(13)；所述第一夹持件(11)设置有第一通孔(111)和与所述第一通孔(111)相连通的第一缺口(112)，所述第二夹持件(12)设置有第二通孔(121)和与所述第二通孔(121)相连通的第二缺口(122)；所述第一通孔(111)与所述第二通孔(121)相互连通，所述第一缺口(112)与所述第二缺口(122)相互连通。根据本实用新型的一种方案，通过采用第一夹持件和第二夹持件的组合形式，以及通过连接件的夹紧作用，可以实现对物料的快速夹装，有利于提高生产效率，而且夹装精度高。
- 一种用于真空镀膜机的放料架-201822224496.7
- 蒋贵霞;贾建国 - 昆山英利悦电子有限公司
- 2018-12-28 - 2019-10-15 - C23C14/50
- 本实用新型公开了一种用于真空镀膜机的放料架，包括底座、支撑杆和若干个放料板，所述底座的顶表面上设有滑槽；所述支撑杆垂直于所述底座设置，其底端设有滑块，并通过所述滑块与底座上的滑槽滑动相连，顶端处于自由状态，其外表面上设有拉环；所述放料板垂直于所述支撑杆设置，各放料板均包括底盖、上盖和中间弹片；所述底盖的一端与所述支撑杆固定相连，所述上盖覆盖在所述底盖上，二者上均设有若干个镀膜孔，且二者通过螺钉相连；所述中间弹片的横截面呈波浪型，其活动安装在所述上盖和底盖之间，且与上盖和底盖上相互靠近的一侧之间为线接触。本实用新型能够大大缩短真空镀膜工序时间，提高生产效率。
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