[发明专利]用于电容式机电变换器的控制设备以及控制电容式机电变换器的方法有效
申请号: | 201080055218.7 | 申请日: | 2010-11-16 |
公开(公告)号: | CN102639258A | 公开(公告)日: | 2012-08-15 |
发明(设计)人: | 香取笃史;高木诚;真岛正男;长永兼一 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | B06B1/02 | 分类号: | B06B1/02;H01L29/84 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 欧阳帆 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供了具有发送/接收效率方面的较小的减少并且具有不同频率范围的发送/接收特性的集合的用于电容式机电变换器的控制设备和控制方法。该设备具有多个单元,每个单元包括经由空隙而彼此面对的第一电极和第二电极;该设备包括驱动/检测部件和外部应力施加部件。所述驱动/检测部件执行如下操作中的至少一个:通过在电极之间产生AC静电引力来使得第二电极振动和发送弹性波,以及检测电极之间的电容的变化,所述变化是由在接收弹性波时振动的第二电极引起的。该外部应力施加部件改变施加到第二电极的外部应力。该驱动/检测部件通过与外部应力的改变对应地改变限定在发送/接收操作中使用的频率区域的参数来调整频率特性。 | ||
搜索关键词: | 用于 电容 机电 变换器 控制 设备 以及 方法 | ||
【主权项】:
一种用于电容式机电变换器的控制设备,所述电容式机电变换器包括多个单元,每个单元包括彼此面对的第一电极和第二电极,在第一电极和第二电极之间介入有空隙,所述控制设备包括:驱动/检测部件,所述驱动/检测部件执行驱动操作和检测操作中的至少一个,所述驱动操作用于通过在第一电极与第二电极之间产生AC静电引力来使得第二电极振动和发送弹性波,所述检测操作用于检测第一电极和第二电极之间的电容的变化,所述电容的变化是由在接收弹性波时振动的第二电极引起的;以及外部应力施加部件,所述外部应力施加部件改变要被施加到第二电极的外部应力,所述驱动/检测部件通过与外部应力的改变对应地改变限定要在发送/接收操作中使用的频率区域的参数来调整频率特性。
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