[发明专利]光源

摘要

光源由磁电管(1)供能，并具有石英坩埚(2)，其中该石英坩埚(2)具有填充有可激发填充物的等离子体中空(8)，在使用中光从可激发填充物辐射。两个铝质接附块(3、4)接附到一起，且块(3)通过螺钉(未示出)接附到磁电管(1)的外壳(5)上。石英坩埚通过法拉第罩(6)接附到块(4)上，法拉第罩的形式为带孔金属罩体，通过其边缘(7)固定到块(4)。磁电管的输出结构(11)具有电连接地安装到其上的导电铜帽(12)。该帽在铜柱(14)附近延伸。该柱从块(3、4)延伸到坩埚(2)中的孔15中，用于从磁电管向坩埚中耦合微波。在块(3)中的帽(12)周围提供空间间隔(16)。从该帽开始，所述柱在氧化铝陶瓷管(17)中以极小的空隙延伸，并穿过空气间隔和块4的位于块(3)端壁中的孔内的凸缘(18)。

主权项

由微波能量供能的光源，该光源具有：·固态等离子体坩埚，其材料是透明的，用于使光从中离开，该透明坩埚具有在该透明坩埚中的密封中空；·围绕该透明坩埚的微波密封的法拉第罩，该罩至少部分透光，用于使光从该透明坩埚离开；·在所述中空中的可由微波能量激发的材料的填充物，用于在其中形成发光等离子体；·布置在透明坩埚中的天线，用于将诱导等离子体的微波能量传输到填充物，该天线具有：·延伸到透明坩埚外部的连接部，用于耦合至微波能量源；·微波发生器，用于在密封中空中激发发光等离子体，该发生器具有用于微波的输出；·将所述发生器接附到透明坩埚上的部件，该接附部件具有：·通道，具有从所述发生器输出延伸到天线连接部的导电壁；以及·导电体，沿通道从发生器的输出穿到天线的连接部，该导电体与所述导电通道一起形成传输线，用于使微波能量从发生器传输到透明坩埚以在其中激发等离子体。