[发明专利]化学品溶液供给系统和其所采用的化学品溶液用容器

摘要

本发明的课题在于提供混入杂质少的化学品溶液供给系统和其所采用的化学品溶液用容器。该化学品溶液供给系统采用了在容器的开口部嵌合有内侧盖部件的化学品溶液用容器，该内侧盖部件通过封闭部件封闭。在使用时，以将上述封闭部件破坏等方法使开口部开口，插入输送液用配管，将其与设置于内侧盖部件的内侧中空部的输送液管的集液部连接。另外，从并设于输送液用配管中的气体导入用配管导入气体，使容器内部的压力上升，将容器内的化学品溶液供给到容器之外。

主权项

一种化学品溶液供给系统，其用于从填充有化学品溶液的化学品溶液用容器供给上述化学品溶液，其特征在于，上述化学品溶液用容器包括：具有开口部的容器主体；内侧盖部件，其包括：嵌合于上述开口部的内侧的中空圆筒状的内侧盖主体；输送液管，其具有从上述内侧盖主体的内侧中空部延伸到上述容器主体的内侧底部附近的液体通路；封闭部件，其将上述内侧盖主体的外侧开口端封闭，能通过将其破坏或去除，以不可逆的方式将上述外侧开口端开口，具有输送液用配管和气体导入用配管而构成的连接插塞与上述内侧盖部件连接，此时，在位于上述内侧盖主体的内侧中空部且设置于上述输送液管的末端的集液部上，连接有将上述封闭部件破坏或去除而插入的上述输送液用配管的前端部，(a)将气体从上述气体导入用配管，通过导孔导入上述容器主体内部，该导孔设置于上述内侧盖部件上，从上述内侧盖主体内侧中空部向容器主体内部贯穿，通过上述气体的压力，上述化学品溶液经由上述输送液管和上述输送液用配管，从上述容器主体内部引出而供给到外部，或者(b)经由上述输送液用配管和上述输送液管，从上述容器主体内部吸引上述化学品溶液，进行供给。