[实用新型]硅棒垫

摘要

本实用新型公开一种硅棒垫，其包括垫子本体以及设置于垫子本体上的多数圆球形支撑体，所述垫子本体上被分割成多数方形单元格，且所述每个单元格的四角均分别斜向上延伸有连接支撑体的连接部，所述两个相邻的连接部之间均开有通孔，所述垫子本体、支撑体以及连接部均由丁晴橡胶制成，上述硅棒垫特有的弹性支撑体球面直接与硅棒的表面相接触，而硅渣从相邻两个连接部之间的通孔掉入硅棒垫表面，从而保护已经磨削好的硅棒表面不受伤害，不仅结构精巧，质量轻，操作方便，而且可以很好保护硅棒表面，大大提高了硅片的良品率。

主权项

一种硅棒垫，其包括垫子本体，其特征在于：所述垫子本体的表面设置有多数支撑体，所述支撑体的上表面为平滑曲面结构。