[发明专利]主训练夹具有效

专利信息
申请号: 201010602046.2 申请日: 2010-12-20
公开(公告)号: CN102103868A 公开(公告)日: 2011-06-22
发明(设计)人: Y·C·谭;H·S·孔;E·K·谭;C·B·昂;C·H·唐 申请(专利权)人: 西部数据传媒公司
主分类号: G11B5/84 分类号: G11B5/84
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 代理人: 赵蓉民
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明公开一种衬底更换系统中用于训练盘定位的盘载体。盘载体由面板和多个光束传感器组成,所述面板具有配置为容纳盘的盘开口,所述光束传感器布置在盘开口周围以当固定在盘开口内时平行于盘的表面投射光束。多个光束传感器可以由位于面板的正面和背面的每面上的至少一个光束传感器组成。
搜索关键词: 训练 夹具
【主权项】:
一种盘载体定位装置,包括:具有配置为容纳盘的盘开口的面板;以及多个光束传感器,其布置在所述盘开口周围以在固定到所述盘开口内时平行于所述盘的表面投射光束,所述多个光束传感器包括位于所述面板的正面和背面的每面上的至少一个光束传感器。
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