[发明专利]利用平面反射镜合光的成像系统及光学测量装置有效
| 申请号： | 201010524334.0 | 申请日： | 2010-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN102455511A | 公开（公告）日： | 2012-05-16 |
| 发明（设计）人： | 刘涛;李国光;艾迪格·基尼欧;马铁中;夏洋;严晓浪 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;北京智朗芯光科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/14 | 分类号： | G02B27/14;G01B11/00;G01B11/24;G01N21/84 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人： | 王建国 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于光学测量技术领域，更具体的涉及利用一个利用平面反射镜合光的成像系统及光学测量装置，所述成像系统包括成像聚光单元、图像探测器以及第一可移动反射镜，其中，第一光束射向样品，第二光束经所述第一可移动反射镜入射到样品，从样品表面反射的光由所述成像聚光单元成像到所述图像探测器，所述第一可移动反射镜位于系统光路中或光路外，使得第一光束与第二光束重合或分离，通过调整第一可移动反射镜，实现测量点识别及定位、样品表面测量点与探测光束光斑位置校准以及测量。本发明完全不影响探测光路光通量、色差、像差和偏振等自身特征，可做到无重影成像，而且结构简单、成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 平面 反射 镜合光 成像 系统 光学 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种利用平面反射镜合光的成像系统，包括成像聚光单元以及图像探测器，其特征在于：所述光学成像系统还包括第一可移动反射镜，其中，第一光束射向样品，第二光束可经所述第一可移动反射镜入射到样品，从样品表面反射的光经所述成像聚光单元成像到所述图像探测器，所述第一可移动反射镜的非反射面朝向该第一光束来向，其反射面朝向第二光束的来向，通过移动所述第一可移动反射镜，使得第一光束与第二光束重合或分离。
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