[发明专利]硅棒垫有效
申请号: | 201010503715.0 | 申请日: | 2010-10-12 |
公开(公告)号: | CN101973075A | 公开(公告)日: | 2011-02-16 |
发明(设计)人: | 翁尧生;曾静;杨乐;何勤忠 | 申请(专利权)人: | 高佳太阳能股份有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B28D7/00 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 张诗琼 |
地址: | 214174 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开一种硅棒垫,其包括垫子本体以及设置于垫子本体上的多数圆球形支撑体,所述垫子本体上被分割成多数方形单元格,且所述每个单元格的四角均分别斜向上延伸有连接支撑体的连接部,所述两个相邻的连接部之间均开有通孔,所述垫子本体、支撑体以及连接部均由丁晴橡胶制成,上述硅棒垫特有的弹性支撑体球面直接与硅棒的表面相接触,而硅渣从相邻两个连接部之间的通孔掉入硅棒垫表面,从而保护已经磨削好的硅棒表面不受伤害,不仅结构精巧,质量轻,操作方便,而且可以很好保护硅棒表面,大大提高了硅片的良品率。 | ||
搜索关键词: | 硅棒垫 | ||
【主权项】:
一种硅棒垫,其包括垫子本体,其特征在于:所述垫子本体的表面设置有多数支撑体,所述支撑体的上表面为平滑曲面结构,且所述垫子本体和支撑体均采用耐磨且柔软适中的材料制成。
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