[发明专利]喷出装置

摘要

本发明涉及喷出装置。本发明提供一种喷出装置中命中位置与喷出口的对位方法。本发明的喷出装置(10)具有在第一方向能移动的基板移动部(20)、保持多个头(32)的头保持部(30)、移动摄像机(21)、多个固定摄像机(31)。首先，由移动摄像机(21)对头(32)所具有的喷出口(35)进行拍摄，并通过个别头位置修正单元进行各头(32)的相对的对位。接着，由固定摄像机(31)对基板(50)上的多个基板基准点进行拍摄，并以多个基板基准点与第二方向平行的方式，利用基板旋转机构(42)使基板(50)旋转移动。再接着，由头移动机构使头保持部(30)向对位方向仅移动所希望距离。通过以上的顺序，能以基板(50)上的规定的命中位置通过规定的喷出口(35)的正下方位置的方式进行对位。

主权项

一种喷出装置，具有：相对于基准面静置的台座；固定于所述台座的头保持部；保持于所述头保持部的多个头；设于各所述头的多个喷出口；以及相对于所述台座，在平行于所述基准面的第一方向能移动的基板移动部，从所述喷出口向配置于所述基板移动部上的基板，喷出喷出液，使所述喷出液的液滴命中在所述基板上，其特征在于，所述喷出装置具有：多个固定摄像机，被固定于所述头保持部，对所述基板的多个基板基准面进行拍摄；基板旋转机构，在所述基板移动部上，将所述基板与所述基准面平行地旋转移动；以及控制装置，具有对由摄像机拍摄的图像进行处理的处理功能，所述多个固定摄像机在与所述基准面平行且与所述第一方向垂直的第二方向分开设置，所述控制装置对所述多个固定摄像机的图像进行处理，计算出所述基板的相对于所述第一方向或所述第二方向的倾斜度，并以修正所述倾斜度的方式来控制所述基板旋转机构。