[发明专利]声学共鸣腔特征长度测量装置无效
| 申请号： | 201010173127.5 | 申请日： | 2010-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN102252614A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | 孙建平;张学一;陈允昌;张金涛 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100013*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种声学共鸣腔特征长度测量装置，其包括：光源部分，该光源部分具有第一激光器和第二激光器；腔长测量部分，其包括有待测长度的声学共鸣腔，其中，所述光源部分的第一激光器和第二激光器的激光在所述声学共鸣腔中产生等倾干涉环；以及数据处理分析系统，该数据处理分析系统根据所述腔长测量部分的等倾干涉环获得所述声学共鸣腔的腔长值。本发明采用激光多波长对共鸣腔的腔长进行测量，具有静态测量、绝对距离测量、非接触测量的特点，所述长度测量装置的图像处理分辨可达0.5nm，对腔长的测量精度可以达到0.03μm。 | ||
| 搜索关键词： | 声学 共鸣 特征 长度 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种声学共鸣腔特征长度测量装置，包括：光源部分，该光源部分具有第一激光器和第二激光器；腔长测量部分，其包括有待测长度的声学共鸣腔，其中，所述光源部分的第一激光器和第二激光器产生的激光在所述声学共鸣腔中产生等倾干涉环；以及数据处理分析系统，该数据处理分析系统根据所述腔长测量部分的等倾干涉环获得所述声学共鸣腔的腔长值。
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