[发明专利]臭氧发生装置

摘要

本发明提供一种臭氧发生装置，其目的在于：在以极高纯度的氧(纯度≥99.9％)为原料气体的情况下，高效率地生成不含氮氧化物的高浓度臭氧气体。本发明的臭氧发生装置具有通过施加交流电压而放电的两个电极(11、12)，以及设置在上述电极间的至少一个电介体(22)；向发生上述放电的放电空间(40)内提供含氧的原料气体，经上述放电产生臭氧；在至少一个上述电极和放电空间之间的与放电接触的面的表面电阻率为104Ω～1011Ω；提供给上述放电空间的原料气体为纯度≥99.9％的高纯度的氧。

主权项

一种臭氧发生装置，具有：两个电极，通过在该两个电极之间施加交流电压而发生放电；以及设置在上述电极间的至少一个电介体，其中，向发生上述放电的放电空间内提供含氧的原料气体，经上述放电产生臭氧，该臭氧发生装置的特征在于：在至少一个上述电极和上述放电空间之间的与上述放电接触的面的表面电阻率为104Ω～1011Ω；提供给上述放电空间的原料气体为纯度大于等于99.9％的高纯度氧。