[发明专利]二维平面气浮导轨零重力吊架

摘要

一种二维平面气浮导轨零重力吊架，包括两根长距离气浮直线导轨、Y轴气浮轴、Y轴气浮套和悬挂绳，X轴气浮套套装在X轴气浮轴上，X轴气浮套至少有两个，X轴气浮套均与贮气套密封连接，长距离直线导轨上可滑动地安装滑块，滑块与驱动机构传动连接，滑块与X轴气浮轴固定连接，贮气套与X轴气浮轴之间为贮气腔，X轴气浮轴的轴心开有进气通道，进气通道与贮气腔连通，贮气腔设有出气口，出气口通过连接气管与各个X轴气浮套的进气口连通；贮气套与支座固定连接，两个支座分别套装在Y轴气浮轴的两端，Y轴气浮套套装在Y轴气浮轴上，Y轴气浮套与悬挂绳连接。本发明能有效避免摩擦力和惯性力的附加影响、适应高精度场合。

主权项

一种二维平面气浮导轨零重力吊架，其特征在于：所述零重力吊架包括两根长距离气浮直线导轨、Y轴气浮轴、Y轴气浮套和悬挂绳，所述长距离气浮直线导轨包括X轴气浮轴、X轴气浮套和用以提供长距离运动的支撑与导向的长距离直线导轨，所述X轴气浮套套装在所述X轴气浮轴上，所述X轴气浮套至少有两个，所述X轴气浮套均与贮气套密封连接，所述长距离直线导轨上可滑动地安装滑块，所述滑块与驱动机构传动连接，所述滑块与所述X轴气浮轴固定连接，所述贮气套与X轴气浮轴之间为贮气腔，所述X轴气浮轴的轴心开有进气通道，所述进气通道连接压缩气体进气管，所述进气通道与所述贮气腔连通，所述贮气腔设有出气口，所述出气口通过连接气管与各个X轴气浮套的进气口连通；两根长距离气浮直线导轨的贮气套均与Y轴连接座固定连接，两个Y轴连接座分别套装在所述Y轴气浮轴的两端，所述Y轴气浮套套装在所述Y轴气浮轴上，所述Y轴气浮套与悬挂绳连接，运动件吊装在所述悬挂绳上。