[实用新型]顶杆装置

摘要

本实用新型公开一种顶杆装置，包括垂直升降装置、支撑板及至少三组顶杆组件，垂直升降装置与支撑板连接，顶杆组件的一端呈对称的连接于支撑板上，另一端密封伸入真空腔体内，顶杆组件包括顶杆、弹性元件、固定轴及轴套，轴套具有呈中空结构的行程腔，行程腔贯穿轴套，轴套的上端伸入真空腔体内且与真空腔体密封地枢接，固定轴的上端伸入轴套的下端的行程腔内并螺纹连接，固定轴的下端与支撑板固定连接，顶杆套于行程腔内且伸出轴套的上端并与行程腔卡接，弹性元件呈压缩状的抵触于固定轴与顶杆之间并收容于行程腔内；本实用新型用于OLED生产时对真空腔体内物件进行升降，其具有缓冲减震功能，能保证蒸镀设备高清洁度，且结构简单、维护方便。

主权项

一种顶杆装置，固定安装于真空腔体外且其一端密封的伸入真空腔体内，所述顶杆装置包括垂直升降装置、支撑板及至少三组顶杆组件，所述垂直升降装置与所述支撑板连接，所述顶杆组件的一端呈对称的连接于所述支撑板上，所述顶杆组件的另一端密封伸入所述真空腔体内，其特征在于：所述顶杆组件包括顶杆、弹性元件、固定轴及轴套，所述轴套具有呈中空结构的行程腔，所述行程腔贯穿所述轴套，所述轴套的上端伸入所述真空腔体内且与所述真空腔体密封地枢接，所述固定轴的上端伸入位于所述轴套的下端的行程腔内并螺纹连接，所述固定轴的下端与所述支撑板固定连接，所述顶杆套于所述轴套的行程腔内且伸出所述轴套的上端并与所述行程腔卡接，所述弹性元件呈压缩状的抵触于所述固定轴与所述顶杆之间并收容于所述行程腔内。