[实用新型]一种用于汽化四氯化硅的装置无效
申请号: | 200920162661.9 | 申请日: | 2009-07-03 |
公开(公告)号: | CN201482472U | 公开(公告)日: | 2010-05-26 |
发明(设计)人: | 唐雨东;张佳伟;陈利群;迟伯成;冯学明;李鹏;满慈皊;郭晓晖;陈文龙 | 申请(专利权)人: | 江苏中能硅业科技发展有限公司 |
主分类号: | B01J19/00 | 分类号: | B01J19/00;F17C9/02;C01B33/107 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 孙秀武 |
地址: | 221000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种用于汽化四氯化硅的装置,该装置具有设备维护成本低和工艺效率高的特点。所述装置包括第一立式容器(3);第二立式容器(7);连通所述第一立式容器(3)和所述第二立式容器(7)的液相连通管(5),以及处于所述第二立式容器(7)内部的加热装置(8),其中所述液相连通管(5)在所述第二立式容器(7)内的开口端的位置高于所述第二立式容器(7)的底部。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 汽化 氯化 装置 | ||
【主权项】:
一种用于汽化四氯化硅的装置,其特征在于,包括:第一立式容器(3),其中盛装有液体四氯化硅进料(1);第二立式容器(7);液相连通管(5),其一端与所述第一立式容器(3)的底部连通,另一端与所述第二立式容器(7)连通,以使所述第二立式容器(7)与所述第一立式容器(3)构成连通器关系,从而使所述液体四氯化硅进料(1)从所述第一立式容器(3)的所述底部经由所述液相连通管(5)进入所述第二立式容器(7)内,并且使所述第二立式容器(7)内的液面与所述第一立式容器(3)内的液面总是保持相互持平;和加热装置(8),其设置在所述第二立式容器(7)内部,以加热进入所述第二立式容器(7)中的所述液体四氯化硅进料(1)而生成汽化的四氯化硅,其中,所述液相连通管(5)在所述第二立式容器(7)内的开口端的位置高于所述第二立式容器(7)的底部。
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