[实用新型]一种高纯二乙基锌的安全输送装置有效

专利信息
申请号: 200920067428.2 申请日: 2009-01-24
公开(公告)号: CN201348138Y 公开(公告)日: 2009-11-18
发明(设计)人: 李东升;龚小雷;冯明 申请(专利权)人: 上海正帆超净技术有限公司
主分类号: F17D1/04 分类号: F17D1/04;F17D3/01;F17D5/00
代理公司: 上海申汇专利代理有限公司 代理人: 翁若莹
地址: 201108上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种高纯二乙基锌的安全输送装置,包括二乙基锌源瓶和柜体,二乙基锌源瓶设于柜体内,二乙基锌源瓶的底部设有电子秤,其特征在于,推动气体进口用过第一手动阀、第一单向阀、第一过滤阀、第一过滤器、第一减压阀、第二单向阀、第一气动阀、第一压力传感器、第五气动阀、二乙基锌源瓶、源气动阀、第三气动阀、第一球阀、第二球阀和二乙基锌源出口组成供应支路,吹扫气源入口、排放出口、第五气动阀、二乙基锌源瓶、源气动阀、第一球阀、第二球阀及阀门组成维护支路,在柜体顶部分别设有自动风阀、干粉灭火器、红外火焰侦测器和高温探头。本实用新型的优点是彻底消除安全隐患,实现连续供液,提高产品质量和工艺的稳定性。
搜索关键词: 一种 高纯 乙基 安全 输送 装置
【主权项】:
1.一种高纯二乙基锌的安全输送装置,包括二乙基锌源瓶和柜体,二乙基锌源瓶设于柜体内,二乙基锌源瓶的底部设有电子秤,其特征在于,二乙基锌源瓶的推动气体进口通过第一球阀分别与第一压力传感器、第一气动阀、第四气动阀进口和第五气动阀进口管道连接,第一气动阀通过第二单向阀分别与第一压力表出口和安全阀进口管道连接,第一压力表进口通过第一过滤器、第一减压阀和第一手动阀与推送气体入口管道连接,安全阀出口分别与第六气动阀出口、第八气动阀出口、第九气动阀出口和排放出口管道连接,第六气动阀出口、第八气动阀出口和第九气动阀出口分别与排放出口管道连接,第八气动阀进口分别与第七气动阀出口和第二压力传感器管道连接,第六气动阀进口和第七气动阀进口分别与过流开关出口管道连接,过流开关进口通过第二压力表、第二过滤器、第二减压阀、第一单向阀、第二手动阀与吹扫气源入口管道连接,第四气动阀出口与第九气动阀进口管道连接,二乙基锌源瓶的气体进口通过第二球阀与源气动阀出口管道连接,源气动阀进口分别与第五气动阀出口、第二气动阀进口、第三气动阀进口和第十气动阀出口管道连接,第二气动阀出口通过第二压力传感器与分别与第八气动阀进口和第七气动阀出口管道连接,第三气动阀出口与二乙基锌源出口管道连接,第十气动阀进口与备用二乙基锌源入口管道连接,在柜体顶部分别设有控制器、自动风阀、干粉灭火器、红外火焰侦测器和高温探头,控制器与所有的阀门、自动风阀、干粉灭火器、红外火焰侦测器和高温探头连接。
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