[发明专利]准分子灯装置

摘要

本发明提供一种具备以简便的构造抑制氧气浓度变化了的大气的对流所引起的紫外线的测定值变化的光传感器的准分子灯装置。该准分子灯装置，具有收纳测定从准分子灯(2)所放射的紫外准分子光的光传感器(3)及准分子灯的筐体(4)，其特征为：光传感器具有光监测器部(33)、筒状部(31)、及基台部(32)，筒状部具有：从基台部侧朝准分子灯(2)侧所形成的渐次小径化部(313)，比渐次小径化部靠近准分子灯(2)地形成的最小内径部(314)，及由最小内径部朝准分子灯侧所形成的渐次大径化部(315)，测定紫外准分子光时，使从气体导入口(321)所导入的惰性气体通过筒状部(31)内，从筒状部的开口(312)放出。

主权项

一种准分子灯装置，具有：准分子灯，测定从该准分子灯所放射的紫外准分子光的光传感器，及至少收纳上述准分子灯与上述光传感器的筐体，其特征为：上述光传感器具有：具备光电二极管与萤光体的光监测器部，具有开放于该光监测器部侧与上述准分子灯侧的开口、上述准分子灯侧的开口被接近配置于上述准分子灯的筒状部，及连结上述光监测器部与上述筒状部的基台部，上述筒状部具有：内径从上述基台部侧朝上述准分子灯侧被渐次小径化的渐次小径化部，比该渐次小径化部靠近上述准分子灯地形成的最小内径部，及内径从该最小内径部朝上述准分子灯侧被渐次大径化的渐次大径化部，上述基台部具有将被导入到上述筒状部的惰性气体导入的气体导入口，测定上述紫外准分子光时，使从上述气体导入口所导入的惰性气体通过上述筒状部内、从上述筒状部的上述准分子灯侧的上述开口放出。