[发明专利]基于PET的曲面亚波长光栅的制作方法

摘要

基于PET的曲面亚波长光栅的制作方法，其特征是以PET为光栅材料，包括如下几个步骤：首先应用微细加工技术制备用于热压印的光栅硅模版，然后把光栅硅模版和PET基片在真空环境下加热，之后进行热压，一段时间后冷却脱模完成平面亚波长光栅的制作，最后将PET平面亚波长光栅基片弯曲粘附在曲面上，固化后得曲面亚波长光栅。本发明方法操作灵活，制造成本低，光栅效率高，易于实现；基于PET平面光栅制得的曲面光栅，具有很高的表面精度，质量好，条纹清楚，具有平面光栅和透镜两种光学元件的功能，可以大大简化光路。

主权项

1、基于PET的曲面亚波长光栅的制作方法，其特征是按如下步骤操作：a、利用全息光刻系统在硅衬底表面UVIII胶层上制作亚波长光栅图形，形成图形转移胶层，以所述图形转移胶层作为刻蚀掩模，利用刻蚀机执行反应离子深刻蚀，将所述亚波长光栅图形转移到硅衬底上，再去除图形转移胶层得到光栅硅模版；b、将PET片材切割成所需要的形状并清洗得到PET基片，所述PET基片与光栅硅模版在真空环境中，共同加热到90℃后，继续以90℃烘烤20分钟；c、在真空环境、90℃、施加2Mpa的压印压力，将所述光栅硅模版压入经加热软化的PET基片，保持环境条件及压印压力10分钟；d、在压印压力没有撤走之前开始降温，当温度降到30度时，分离光栅硅模版和PET基片，得到PET平面亚波长光栅基片；e、用胶粘剂将步骤c所得PET平面亚波长光栅基片粘贴在曲面上，且光栅图形向外，胶粘剂固化即得到基于PET的曲面亚波长光栅。