[发明专利]抗氧化复合薄膜电极

摘要

本发明涉及一种抗氧化复合薄膜电极，它包括基板，基板上依次布设有过渡层、导电层及保护层。其中过渡层的材质为金属材质(如铬、铝、钛、钼、铌、钽、镍、铜)或者化合物材质(如氧化铟、氧化锌、氧化镍、氧化钒、氧化硅、氧化铝、氮化硅、氮化铝和氮氧化硅)。导电层为高电导率的银、含银合金或含银金属的混合物。保护层为金属材质(如铬、铝、钛、钼、铌、钽、镍、铜)或者化合物材质(如硫化锌、氧化锌、二氧化锡、氧化钨、氧化铟、氧化镍、氧化钒、氧化钼、氧化钛、氧化铬、氧化铌、氧化钽)。该薄膜电极能够承受高温热处理而不会发生氧化，从而避免封接过程中发生的电极氧化，降低平板显示器件电极的电阻，提高平板显示器件的显示质量。

主权项

1、一种抗氧化复合薄膜电极，其特征在于，包括基板，所述基板上依次布设有过渡层、导电层及保护层。