[发明专利]一种大口径成像光子筛及其制作方法无效
| 申请号： | 200910091043.4 | 申请日： | 2009-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN101630027A | 公开（公告）日： | 2010-01-20 |
| 发明（设计）人： | 朱效立;潘一鸣;谢常青;贾佳;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02B5/00 | 分类号： | G02B5/00;G02B5/18;G02B27/44 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 | 代理人： | 王建国 |
| 地址： | 100029北京市朝*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大口径成像光子筛及其制作方法，属于衍射光学元件技术领域。所述大口径成像光子筛包括透光衬底和镀在其上的不透光的金属薄膜，所述不透光的金属薄膜上随机分布若干透光小孔，所述随机分布的透光小孔使得衍射光之间相互干涉从而能够有效地抑制旁瓣效应和高级衍射，提高分辨率，得到更为锐利的焦斑。在本发明的制作方法中采用Connes整形函数对随机分布的小孔进行整形，减少了孔数目，减小了版图数据量，并优化了小孔的整体分布，使得成像焦斑更加锐利，使得现有的加工工艺水平能够满足大口径光子筛的制造需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 口径 成像 光子 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种大口径成像光子筛，其特征在于：包括透光衬底和镀在其上的不透光的金属薄膜，所述不透光的金属薄膜上随机分布若干透光小孔。
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