[发明专利]颗粒发生原因判别系统、和颗粒发生原因判别方法有效
| 申请号： | 200910006536.3 | 申请日： | 2009-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN101526482A | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | 守屋刚 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙 淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供即使是几乎没有与颗粒的发生原因有关知识的人员，也能够正确地判别颗粒的发生原因的颗粒发生原因判别系统和颗粒发生原因判别方法，判别颗粒的发生原因的颗粒发生原因判别系统(43)具备客户PC(47)和主服务器(48)，主服务器(48)具被保存计算与多个颗粒发生原因的各个有关的准确度的计算方法的程序的存储器；和基于各保存的程序，由颗粒分布图、各颗粒的材质、形状和尺寸，针对各颗粒发生原因计算上述准确度的CPU，客户PC(47)在显示器(51)上显示关于各颗粒发生原因计算出的准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 颗粒 发生 原因 判别 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种颗粒发生原因判别系统，其具备用户接口装置和颗粒发生原因判别装置，判别颗粒的发生原因，其特征在于：所述颗粒发生原因判别装置具备保存部和计算部，所述保存部保存以点数计算关于多个颗粒发生原因的各个的可能性的计算方法的程序，所述计算部基于所述被保存的程序，至少由基板表面的颗粒分布，针对各所述颗粒发生原因计算所述点数，所述用户接口装置显示针对各所述颗粒发生原因所计算出的所述点数。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京毅力科创株式会社，未经东京毅力科创株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910006536.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
